1.技术原理
电子枪发射的细聚焦电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速，入射到样品，对样品表面逐点扫描，电子束与样品原子核或核外电子发生多种相互作用，引起电子束运动方向或能量发生变化，从而产生各种物理信号，如二次电子、背散射电子等。这些信号经过检测器接受、放大并转换成调制信号，最后呈现反出映样品表面各种特征的图像。
2.主要仪器简介
赛默飞 Apreo 2 SEM 高性能场发射扫描电镜
3.测试报告模板
1.技术原理
电子枪发射的细聚焦电子束通过电磁透镜聚焦和电场加速，入射到样品，对样品表面逐点扫描，电子束与样品原子核或核外电子发生多种相互作用，引起电子束运动方向或能量发生变化，从而产生各种物理信号，如二次电子、背散射电子等。这些信号经过检测器接受、放大并转换成调制信号，最后呈现反出映样品表面各种特征的图像。
2.主要仪器简介
赛默飞 Apreo 2 SEM 高性能场发射扫描电镜
3.测试报告模板